半导体产业自动化物料搬运系统(AMHS)是半导体产线智能化运转的核心系统,包括软件和硬件两部分,在核心软件系统的控制和调度下,通过OHT、轨道和OHB等硬件按照生产系统的指令,高效、稳定的实现物料在生产线工序间的自动搬运。